Lithography Process Control - Tutorial Texts - Harry J. Levinson - Grāmatas - SPIE Press - 9780819430526 - 1999. gada 1. februāris
Ja vāks un nosaukums nesakrīt, pareizs ir nosaukums

Lithography Process Control - Tutorial Texts


Saņemt e-pastu, kad prece būs pieejama
Do you have a profile? Pierakstīties
Pievienot savam iMusic vēlmju sarakstam

This text is intended to be a self-contained tutorial on lithography process control. It works as an introduction to those entering the field, and as a reference for the experienced lithography engineer. Topics covered include linewidth control, overlay, and yield.


194 pages, Illustrations, 1 port.

Mediji Grāmatas     Paperback Book   (Grāmata ar mīksto vāku un līmēto muguru)
Izlaists 1999. gada 1. februāris
ISBN13 9780819430526
Izdevēji SPIE Press
Lapas 194
Izmēri 150 × 220 × 10 mm   ·   444 g

Mere med samme udgiver