Rapid Thermal Processing: Science and Technology - Fair - Grāmatas - Elsevier Science Publishing Co Inc - 9780122476907 - 1993. gada 15. aprīlis
Ja vāks un nosaukums nesakrīt, pareizs ir nosaukums

Rapid Thermal Processing: Science and Technology


Saņemt e-pastu, kad prece būs pieejama
Do you have a profile? Pierakstīties
Pievienot savam iMusic vēlmju sarakstam

Discusses rapid thermal processing (RTP), an essential manufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. The text provides information on the suitability of RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy and "in situ" processing.


430 pages

Mediji Grāmatas     Hardcover Book   (Grāmata ar cieto muguriņu un vāku)
Izlaists 1993. gada 15. aprīlis
ISBN13 9780122476907
Izdevēji Elsevier Science Publishing Co Inc
Lapas 430
Izmēri 152 × 229 × 25 mm   ·   725 g
Redaktors Fair, Richard B.

Vairāk no Fair

Rādīt visu

Mere med samme udgiver

Skatīt visus Fair ( piem., Hardcover Book , Paperback Book un Book )